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wafers
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HVPE
氢化物气相外延生长法
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自支撑氮化镓晶圆片
GaN
growth
氮化镓生长
Eta
镓特
ETA
semiconductor
镓特半导体
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GaN
大尺寸氮化镓晶圆片
Homoepitaxy
同质外延片
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